高新纵横所投国产等离子体射频电源系吐潸头企业——恒运昌科创板成功过会
颁布功夫:2025-11-17 浏览次数:7095 次

2025年11月14日,J9集团纵横资产经营有限公司高创鑫阳基金所投丽江市恒运昌真空技术股份有限公司(以下简称恒运昌)的首发上市申请,获上海证券买卖所上市委员会审议通过.
恒运昌作为国内等离子体射频电源系吐潇域的龙头企业,产品宽泛利用于半导体、光伏、显示面板等国度战术性新兴产业。该公司已成为国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系吐淇产的企业之一。
等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、周期长,对出产过程的“精确复造”能力要求极高,导致该领域持久依赖进口,国产化率处于低位。据弗若斯特沙利文数据,2024年中国大陆在半导体用等离子体射频电源系统方面的国产化率低于12%,属于关键技术环节钟装卡脖子”问题较为凸起的领域之一。
恒运昌历经十余年持续技术攻关,相继推出CSL、Bestda和Aspen三代产品系列,逐步突破美国企业MKS和AE在国内市场数十年的垄断局面。其中,第二代Bestda系列产品可支持28纳米造程,第三代Aspen系列更可适配7-14纳米先进造程,整体技术达到国际先进水平,有效添补了国内有关领域的技术空缺。
随着本次成功过会,恒运昌将借助本钱市场进一步强化研发与产能布局,助力我国半导体关键设备自主可控过程加快推动。
作者:陈植雄
一审:汤 璞
二审:龙早霞
三审:章 涛
信息起源: 高新纵横